納米白光干涉儀 表面細(xì)微三維形貌測量系統(tǒng)基于白光干涉儀原理、結(jié)合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準(zhǔn)確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數(shù)據(jù)，適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級精度測量、重構(gòu)表面形 貌3D輪廓。

技術(shù)參數(shù)

型號：PZ-Mico D

測試技術(shù)： 3D相干掃描干涉法，抗震算法，移相干涉法

光源：固態(tài)白光光源，軟件控制切換光譜（VSI和PSI）

掃描裝置：精密壓電陶瓷驅(qū)動，閉環(huán)反饋電容控制精密壓電陶瓷

像素分辨率：1280X1024

視場：  10倍范圍1200X950

縱向掃描范圍：25mm

橫向分辨率：0.05-2.68µm

軸向分辨率：VSI：0.5nmPSI：0.1nm

臺階高度精度（示值誤差）±0.1nm（5µm標(biāo)準(zhǔn)臺階）

臺階高度重復(fù)性：0 . 1％1σ（5µm標(biāo)準(zhǔn)臺階

粗糙度 RMS 2

粗糙度RMS重復(fù)性:0.01nm

被測樣品反射率：0.05%-100%

Z軸：電動Z平臺100mm，1μm分辨率）

位移臺：電控平臺移動范圍XY:100x100mm

產(chǎn)品細(xì)節(jié)

應(yīng)用范圍